SEM扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope),是一种利用电子束来观察样品表面形貌与成分分布的高分辨率仪器。
SEM扫描电子显微镜可以将电子束的聚焦度提高到亚纳米级别,因而可以对物质进行高分辨率、高放大倍数的成像。而且,相较于其他成像手段,SEM扫描电子显微镜无需经过切片或样品处理便可以得到三维立体的表面形状,可以非常清晰、细腻地呈现出样品表面的微小结构。
SEM扫描电子显微镜具有高分辨率、高灵敏度、高对比度等优点,因此得到了广泛的应用。它适合于在材料科学、纳米科技、生物科学、地球科学、环境科学等领域进行表面形貌和成分的研究。